材料本身所具有（yǒu）的性能，必須（xū）通過（guò）正（zhèng）確的熱（rè）處理（lǐ）手段來達到。隻有良好的熱處理（lǐ）手段，才能（néng）實現我們預（yù）想的性能期望。根（gēn）據塑封模具材（cái）料性能要求，塑封模熱處（chù）理手段主要是高溫淬火、深冷處（chù）理、高溫回火，並多次反複，通過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛（gāng）性和耐磨損性，一（yī）般材料均需加（jiā）熱到（dào）1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下（xià）通過氮氣保護對工件進行加（jiā）熱（rè），既保證了工件的（de）脫碳氧化，又防止了合（hé）金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力（lì），對工件進行淬火冷卻，在保證工件（jiàn）充分淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處（chù）理與高溫回火 
    高合金鋼在（zài）淬火後，由（yóu）於其馬氏體轉變點（Ms點）均高（gāo）於室溫，為（wéi）了提高硬度，保證尺寸穩（wěn）定性（xìng），通常要進行深冷處理和高溫（wēn）回火，以保證殘餘（yú）奧氏（shì）體充分轉變為穩定的回火馬氏（shì）體。我們將經過真空淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放入（rù）-140℃的深冷（lěng）處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會（huì）因為進出爐而產生變形或開（kāi）裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工件在回火中的氧化開裂（liè）。目前對於（yú）D2類（lèi）材（cái）料（liào），我們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如（rú）SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了真空回火爐，在抽真空後（hòu），加入99.999%的高純氮氣作為介（jiè）質，通過吹風方向的改變來形（xíng）成對流，保證（zhèng）了（le）工件的溫度均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔助手（shǒu）段 
    在提高了淬火（huǒ）回火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它環節給予了（le）充分的重視，過去認（rèn）為（wéi）的熱（rè）處理工件潔（jié）淨度（dù）與處理無關的（de）觀點已經被拋棄，增加潔淨預處理。即將未入爐零件（jiàn），通過（guò）真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加（jiā）工油汙和碎屑，保（bǎo）證了（le）入爐工件不會帶入其它（tā）雜質，避免了在高溫（wēn）加熱時雜質分解，汙染爐（lú）內（nèi）環境和工件本身，從微觀上保證了工件的組織潔淨度（dù）和處理質量的完（wán）美性，提高了工件的使用壽命。

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