材料本身所具有的（de）性能，必須通過正確的熱處理手段來達到。隻有良好的熱處理手段，才能實現我們（men）預想（xiǎng）的性能期望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手段主要是（shì）高溫淬火、深（shēn）冷處理、高溫回火，並多次（cì）反複，通（tōng）過這（zhè）些不同的處理，達到（dào）最佳的模具性能。 
1、高溫（wēn）淬（cuì）火 
    為了提高材料的剛性（xìng）和耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金元素充（chōng）分溶解（jiě）於奧氏體內，以（yǐ）便在淬火時獲得高的基體硬度，同時為了保證零件不發生（shēng）脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真空條件下通過氮氣保護對（duì）工件進行加熱，既保證了工件的脫碳氧化（huà），又防止了（le）合（hé）金（jīn）元（yuán）素的蒸（zhēng）發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件（jiàn）進行淬火冷卻，在保證工件充分淬透（tòu）的同時又減少了變形。 
2、深冷處理（lǐ）與高溫回火 
    高（gāo）合金鋼在淬火後（hòu），由（yóu）於其馬氏（shì）體轉變點（Ms點）均高於室溫（wēn），為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和高（gāo）溫回（huí）火，以保證殘餘（yú）奧氏體充分轉變為穩定的回（huí）火馬氏（shì）體。我們將（jiāng）經過真空（kōng）淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理（lǐ）箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不會因為進（jìn）出爐而產生（shēng）變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料（liào），我們通常在深冷（lěng）設備中（zhōng）直（zhí）接完成-140℃深（shēn）冷（lěng）至230℃回火的3次循環（huán）。對於高於230℃回火（huǒ）的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們（men）采用了真空回火爐，在（zài）抽（chōu）真（zhēn）空後，加入（rù）99.999%的（de）高純氮氣作為介質，通過吹風方向（xiàng）的改變來形成對流，保（bǎo）證了工件的溫度均勻（yún）性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火及深（shēn）冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它環節給予了充分的重視，過去認為的熱處理工（gōng）件潔淨度與處（chù）理無關的觀點已經被拋棄，增加潔淨預處理。即將未入爐零件，通過真空清洗機進行真（zhēn）空去油、脫脂、幹（gàn）燥（zào）。去除了工件的各類加工油汙和碎（suì）屑，保（bǎo）證了入爐工件（jiàn）不會帶入其它雜質（zhì），避（bì）免了在高溫（wēn）加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工（gōng）件本身，從微觀上保證了工件的組織潔淨度和處理質量的完美性，提（tí）高了工件的使用壽命。

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