材料本身所具有的性能（néng），必須通過正確的熱處理手（shǒu）段來達到（dào）。隻有良好的熱處理手段（duàn），才能實現我們預想（xiǎng）的性（xìng）能期望。根據塑封模具材料性（xìng）能要求，塑封模（mó）熱處理手段主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回火，並多次反複，通（tōng）過這些不同的處理，達到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提（tí）高材料（liào）的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合（hé）金元素充分溶解於奧氏體（tǐ）內，以便在淬火時獲得高（gāo）的基（jī）體硬（yìng）度，同時為了保證零（líng）件不（bú）發生（shēng）脫（tuō）碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣淬淬火爐，可以在高真（zhēn）空條件下通過氮氣保（bǎo）護對（duì）工件進行加熱，既（jì）保證了工件的脫碳氧化，又防止了合（hé）金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調節氣體壓力，對工件進行淬火冷卻，在保證（zhèng）工件充分淬透的同時又減少（shǎo）了變（biàn）形。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高合金鋼在（zài）淬火後，由於（yú）其馬氏體轉（zhuǎn）變點（Ms點）均高於室（shì）溫（wēn），為（wéi）了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和高溫回火，以（yǐ）保證殘餘奧氏體充分轉變為穩定的回火（huǒ）馬氏體（tǐ）。我們（men）將（jiāng）經過真空淬火後的（de）工件，在室溫至100℃之間進行校正（zhèng），然（rán）後放入-140℃的深冷處理箱中（zhōng）進行深冷。工件在（zài）不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環，保證工件不（bú）會（huì）因為進（jìn）出爐而產生變形或開裂。同時由於（yú）采用氮氣保護也避免了（le）工件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料，我們通常在深（shēn）冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火（huǒ）的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用（yòng）了真空（kōng）回火爐，在抽真空（kōng）後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通過吹風方向的（de）改（gǎi）變來形成對流，保證了工（gōng）件的溫度均勻性，同時節省了回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火及深冷處理質量的（de）同（tóng）時，我們同時對（duì）工（gōng）件的其它環節給予了充分的重視（shì），過去認為的（de）熱處理工（gōng）件（jiàn）潔淨度與處理（lǐ）無關的觀點已（yǐ）經被拋棄，增（zēng）加潔淨預處理。即將未入爐零（líng）件，通（tōng）過真空清洗機進行真空去油、脫脂（zhī）、幹燥。去除（chú）了工件的各（gè）類加工油汙和碎屑，保（bǎo）證（zhèng）了入爐工（gōng）件不會帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質分解，汙染爐內環境和工件本身，從微觀上保證了工件的組織潔（jié）淨度和處理質量的完美性，提高了工件的（de）使用壽命（mìng）。

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