材料本身所具有的性能，必須通過正確的熱處理手段來達（dá）到。隻有（yǒu）良好的熱處理手段，才能實現我們（men）預想的性能（néng）期望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱處理手段主要是高溫淬火、深（shēn）冷處理、高溫回（huí）火，並（bìng）多次反複，通過（guò）這些不同（tóng）的處理，達到最佳的（de）模具性能（néng）。 
1、高溫淬火 
    為了提高材料的剛性和耐磨損性，一般材料（liào）均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金（jīn）元素充分溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲（huò）得高的基體硬度，同時為了保證（zhèng）零件不發生脫碳氧化，相應（yīng）采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速（sù）率氣淬淬火（huǒ）爐，可以在（zài）高真空條（tiáo）件下通過氮（dàn）氣保護對工件進行（háng）加熱，既（jì）保證了工（gōng）件的脫碳氧（yǎng）化，又（yòu）防（fáng）止了合金元素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內（nèi）可調節（jiē）氣（qì）體壓力，對工件進行淬火冷卻，在保證工件（jiàn）充分淬透（tòu）的同時又減少了變形。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高合金鋼在淬火後（hòu），由於其馬氏體轉（zhuǎn）變點（Ms點（diǎn））均高於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常要進行深冷處理和（hé）高溫回火，以保證殘餘奧氏（shì）體充（chōng）分轉變為穩定（dìng）的回火馬氏體。我們將（jiāng）經過（guò）真空淬火（huǒ）後的工件，在室溫至100℃之間進（jìn）行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行深冷。工件在不出爐的情況下，可（kě）以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環（huán），保證工件不會因（yīn）為進出（chū）爐而產生變形或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工件在回火中的氧化開裂。目前對於D2類材料，我們（men）通常在深冷設備中（zhōng）直（zhí）接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用了（le）真空（kōng）回火爐，在抽真（zhēn）空後，加入（rù）99.999%的高純氮氣作為介質，通（tōng）過吹風方向的（de）改變來形成對流，保證了工（gōng）件的溫度均勻性，同時節省（shěng）了（le）回火時間（jiān）。 
3、其它輔助手（shǒu）段 
    在提高了淬火回（huí）火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它環節給予了充分的重（chóng）視，過去認為的熱處理工件潔淨度與處理無關的觀點已經被拋棄，增加潔淨（jìng）預處理。即將未入（rù）爐零件，通過真空（kōng）清洗機（jī）進行（háng）真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入爐工件不會帶入其它雜質，避免了在高溫（wēn）加熱時（shí）雜質分（fèn）解，汙染爐（lú）內環境（jìng）和工件本身，從微觀上保證了（le）工件的組織潔淨（jìng）度和（hé）處理質量的完美性，提高了工件（jiàn）的使用壽命。

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